分散微热源合成β-SiC过程温度场变化规律

• 作者: 楚芳芳
• 来源期刊: 工业炉
• 学科: 工学
• 关键词: 分散微热源 β-SiC 温度场
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 实验研究
• 页码范围: 12-14
• 页数: 3页
• 分类号: TQ052.6
• 字数: 1637字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-6988.2019.01.004

摘要

主要介绍分散微热源碳化硅合成炉的合成原理,同时对分散微热源合成β-SiC过程中能量的扩散规律进行研究.结果表明:采用分散热源降低单个热源供电功率的方法,可以有效降低总的供电功率,同时合成炉内温度场更加均匀,相比于传统的单热源合成炉温度的上升速率更加均匀平缓,从而有效保证了β-SiC的合成.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	楚芳芳	陕西铁路工程职业技术学院建筑工程系	13	7	2.0	2.0