基于扫描白光干涉法的LCOS芯片像素级相位分析

• 作者: 宋五洲 屈铭 李敏 桂聪 郑俊杰
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 空间光调制器 相位调制 衍射光栅 干涉仪 条纹分析
• 年，卷（期）: 2019,（9）
• 所属期刊栏目: 成像系统
• 页码范围: 110-117
• 页数: 8页
• 分类号: TN29
• 字数: 4149字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20194809.0911004

摘要

提出了一种扫描白光干涉法,用于获取LCOS芯片的相位调制特性曲线并对其进行相位校准,而且实现了对LCOS芯片建立的相位光栅的像素级相位分析.将补偿玻璃平板紧贴于参考镜处,克服了白光短相干长度的限制,提高了干涉条纹间的对比度.利用Morlet小波变换法求取白光干涉信号包络曲线的峰值点进行相位值重构,实现了0.01π的相位测量精度,同时保证了横向分辨率为0.79μm.利用Logistics函数对相位调制幅度为2π 的二元光栅相位轮廓进行拟合,得到其相位回程区宽度为11.49μm.小像素LCOS芯片构建的闪耀光栅存在相位线性增长区和相位回程区.周期为40μm的闪耀光栅相位回程区宽度为8.81μm,其衍射效率为71.9％.对不同周期的闪耀光栅的相位轮廓进行分析,结果表明:闪耀光栅的周期越小,相位回程区相对宽度越大,衍射效率降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑俊杰	华中科技大学材料科学与工程学院连接与电子封装中心	254	3030	27.0	45.0
2	李敏	华中科技大学材料科学与工程学院连接与电子封装中心	153	1172	19.0	28.0
3	宋五洲	华中科技大学材料科学与工程学院连接与电子封装中心	4	0	0.0	0.0
4	屈铭	华中科技大学材料科学与工程学院连接与电子封装中心	2	0	0.0	0.0
5	桂聪	华中科技大学材料科学与工程学院连接与电子封装中心	1	0	0.0	0.0