基于PolySim电子级多晶硅还原炉三维数值模拟

• 作者: 付昊 何银凤 张胜涛 李有斌 梁世民 赵丽丽 韩金豆
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 电子级多晶硅 化学气相沉积 数值模拟 气体循环
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 页码范围: 144-148
• 页数: 5页
• 分类号: O482
• 字数: 2889字
• 语种: 中文

摘要

利用PolySim软件建立了国内电子级多晶硅9对棒现役还原炉的三维模型,对还原炉内部的流动、传热进行了数值模拟,得到还原炉内部流场、温场以及硅棒表面温度的分布情况,指出硅棒桥接附近气体流速较小、气体温度及硅棒表面温度过高是该区域沉积不均匀的主要原因.和实际生产结果对比表明,模拟计算数据的误差不超过5％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李有斌		4	3	1.0	1.0
2	张胜涛	哈尔滨工业大学化学与化工学院	2	2	1.0	1.0
3	何银凤		5	3	1.0	1.0
4	梁世民		2	2	1.0	1.0
5	韩金豆		1	2	1.0	1.0
6	付昊	哈尔滨工业大学化学与化工学院	2	2	1.0	1.0