基于重组蛛丝蛋白的多层级瞬态衍射光学传感元件

• 作者: 周志涛 孙龙 蔡晓晴 高子涵
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 重组蛛丝蛋白 衍射光学元件(DOE) 纳米压印 多层级 瞬态器件
• 年，卷（期）: 2019,（10）
• 所属期刊栏目: 技术论坛
• 页码范围: 776-782
• 页数: 7页
• 分类号: TN389
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2019.10.002

摘要

针对传统衍射光学元件(DOE)与MEMS加工工艺难以兼容、传感应用方面灵敏度低的问题,提出了一种基于基因重组蛛丝蛋白材料、利用热纳米压印工艺制成的多层级瞬态可溶DOE.重组蛛丝蛋白性能可按需定制,重复性高,具有极佳的生物相容性,高精度、高效率、低成本的纳米压印工艺可实现DOE的快速制备,同时控制其降解速率.纳米压印工艺制备的重组蛛丝蛋白DOE最小特征尺寸可达2μm,衍射图案强度为杂散光强度的12倍.随着元件的降解,DOE的衍射图案效率降低,说明了DOE所携带信息随其可控溶解而溶毁,从而可以实现信息的多层级溶毁及生物传感领域的多层级药物实时释放监测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙龙	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	9	188	5.0	9.0
2	高子涵	上海大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0
6	蔡晓晴	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	1	0	0.0	0.0
7	周志涛	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	1	0	0.0	0.0