ErAlN/蓝宝石基SAW谐振器制备与性能研究

• 作者: 张必壮 杨成韬 葛澍蔚 许绍俊
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 镶嵌靶 ErAlN压电薄膜 声表面波(SAW)谐振器 有效机电耦合系数 晶体结构软化
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 页码范围: 631-634,638
• 页数: 5页
• 分类号: TN65|TP212
• 字数: 3887字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2019.05.004

摘要

采用Er镶嵌靶,以射频(RF)反应磁控溅射法,在蓝宝石衬底上制备出了c轴取向的Er0.11Al0.89Nz压电薄膜.运用正交设计实验优化后,Er0.11Al089Nz薄膜的膜厚、表面粗糙度分别为1.20 μm和1.0 nm,光学介电常数从4.19增大到4.29.Er0.11Al0.89Nz/蓝宝石基声表面波(SAW)谐振器的中心频率和品质因数Q值相较于纯AlN降低,有效机电耦合系数比AlNz/蓝宝石基SAW谐振器提高了20％,达到1.80％.研究结果表明,Er掺杂AlN后晶格常数比值c/a基本保持不变,但晶体中离子键成分的上升使晶体结构软化,从而导致器件频率下降,有效机电耦合系数增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨成韬	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	67	255	8.0	12.0
2	许绍俊	川庆钻探工程有限公司地质勘探开发研究院	4	2	1.0	1.0
3	张必壮	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	0	0.0	0.0
4	葛澍蔚	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	0	0.0	0.0