TFT-LCD行业显影液参数对半色调光刻胶膜厚的影响

• 作者: 丁振勇 于洪禄 李伟 王鹏 郑铁元 陈国 韩亚军
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 显影液 浓度 酸根离子 半色调膜厚 波动
• 年，卷（期）: 2019,（12）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 1161-1165
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1991字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/YJYXS20193412.1161

摘要

通过对TFT-LCD行业用显影液浓度(质量分数)C1和其中酸根离子浓度(质量分数)C2与半色调光刻胶膜厚(Half Tone Thickness,THK)的影响研究,提出了改善THK波动的方法.首先,固定光刻工艺生产条件,采用单因素实验法分别对C1和C2对THK的影响进行试验,研究表明,C1、C2的变化都会影响显影液的显影能力,导致THK的变化,且都呈线性负相关.其次,根据C1和C2变化对THK的影响程度,将二者之间建立公式对应关系,通过系统对C1进行调整,改善C2波动的影响.最终将关系公式导入系统,稳定了显影能力,有效改善了THK的波动,沟道相关不良发生率从0.20％以上降低到0.03％以下.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩亚军		2	1	1.0	1.0
2	于洪禄		2	1	1.0	1.0
3	李伟		9	14	3.0	3.0
4	郑铁元		2	1	1.0	1.0
5	陈国		1	0	0.0	0.0
6	丁振勇		1	0	0.0	0.0
7	王鹏		1	0	0.0	0.0