半导体材料电火花线切割新型弯丝检测方法研究

• 作者: 杨杰 焦银亮 罗福源
• 来源期刊: 电加工与模具
• 学科: 工学
• 关键词: 电火花线切割加工 微接触 弯丝检测 半导体材料
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 电火花加工
• 页码范围: 20-23,38
• 页数: 5页
• 分类号: TG661
• 字数: 2121字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-279X.2019.01.005

摘要

电火花线切割半导体材料时,由于材料体电阻较大且存在接触势垒,即使在与电极丝发生接触构成电路短路的情况下,也能继续加工.由于放电间隙狭窄及工作液干扰严重,难以安装常规的传感器进行弯丝检测,而目前常用的电流脉冲概率检测法与往复渐进运动控制法并不能判断电路是否短路,无法真正避免电极丝弯丝故障.为此,提出了一种新型弯丝检测方法,其原理是在电极丝后侧增加一根与其平行的金属丝构成弯丝检测电路,同时设计专用的双平面定位机构进行检测丝的装夹与定位.据此原理试制了弯丝检测原型装置并进行了硅锭切割实验,结果表明:该方法可快速、准确、可靠地判断弯丝状态,减小电极丝断丝概率,提高加工效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨杰	南京航空航天大学机电学院	46	179	6.0	11.0
2	罗福源	南京航空航天大学机电学院	34	144	5.0	11.0
3	焦银亮	南京航空航天大学机电学院	3	2	1.0	1.0