线结构光传感器的静态性能测试研究

• 作者: 于渤 李学哲 李昱坤 王涛 石照耀
• 来源期刊: 机电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 线结构光传感器 静态性能 稳定性 重复性 线性度
• 年，卷（期）: 2019,（9）
• 所属期刊栏目: 机械、仪表技术
• 页码范围: 925-930
• 页数: 6页
• 分类号: TH741.1+2|TP212
• 字数: 6205字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4551.2019.09.008

摘要

针对线结构光传感器各项静态性能参数对其测量精度影响的问题,设计了一套线结构光传感器静态性能测试方案.在高精度移动平台上使用二级量块、纳米定位台和激光干涉仪,对传感器的重要静态性能参数,如稳定性、重复性和线性度进行了分析,量化了各项静态性能参数对传感器测量精度的影响;以二级量块的工作面作为传感器测试试验的测量表面,结合高精度移动平台实现了传感器全测量区域的测试;使用激光干涉仪对移动平台的定位误差进行了补偿,提高了测量结果的可信度.研究结果表明:传感器需1 h的时间进行稳定来保证测量精度,其测量区域的中部重复性最佳,该区域重复性均值为0.418μm;传感器线性度对其测量精度影响最大,由传感器非线性引起的误差最大为11.2μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石照耀	北京工业大学北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心	144	1767	19.0	39.0
2	于渤	北京工业大学北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心	13	35	4.0	5.0
3	王涛	北京工业大学北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心	33	84	4.0	8.0
4	李学哲	北京工业大学北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心	3	12	1.0	3.0
5	李昱坤	北京工业大学北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心	2	1	1.0	1.0