刻划光栅刻线弯曲误差在线修正技术研究

• 作者: 周润森 周鹏 杨超 薛常喜 高旭
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 刻划光栅 测量光路 刻线弯曲 刻划误差
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 光学计量与测试
• 页码范围: 658-662
• 页数: 5页
• 分类号: TN206|O433.4
• 字数: 2491字
• 语种: 中文
• DOI: 10.5768/JAO201940.0403005

摘要

刻划光栅存在刻线弯曲误差,将直接影响光栅的衍射波前质量.通过构建光栅刻线弯曲误差与衍射波前的映射关系,搭建了光栅刻线弯曲误差的实时测量光路,论述了光栅刻划机主动控制技术原理,将光栅刻划机主动控制技术用于光栅刻线弯曲误差的在线补偿.通过对比光栅刻划实验验证该方法的可行性.上述方法能够准确提取并有效补偿光栅刻线弯曲误差,将光栅衍射波前由0.074入提高到0.038λ,提高了48.6％,同时有效地解决了光栅表面弯曲问题.其研究结果可用于提高机械刻划光栅质量,具有重要的理论及应用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高旭	长春理工大学光电工程学院	10	37	3.0	6.0
3	杨超	长春理工大学光电工程学院	7	3	1.0	1.0
5	周鹏	长春理工大学光电工程学院	2	2	1.0	1.0
11	周润森	长春理工大学光电工程学院	1	0	0.0	0.0