MEMS陀螺仪抗冲击设计技术

• 作者: 何春华 刘玉县 吴康雄 陈婷
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 陀螺仪 双自由度冲击模型 抗冲击保护结构 位移响应 加速度响应
• 年，卷（期）: 2019,（8）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 636-643
• 页数: 8页
• 分类号: V241.5|TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2019.08.007

摘要

为了提高微电子机械系统(MEMS)陀螺仪的抗冲击能力,设计了一种抗冲击保护结构.通过建立陀螺仪结构双自由度冲击模型,推导出陀螺仪结构和冲击保护结构的冲击响应方程,分别对陀螺仪和冲击保护结构进行详细的位移与加速度响应的理论推导.根据理论推导在Matlab上对位移和加速度响应随影响因素的变化进行仿真分析,并对有无冲击保护结构的陀螺仪抗冲击能力进行对比分析.仿真分析表明增加冲击保护结构后陀螺仪的抗冲击能力至少提高了3倍,验证了设计的冲击保护结构的有效性.实验表明冲击频率越接近陀螺仪的固有频率,冲击响应越大,梁越容易发生断裂失效.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴康雄	长沙理工大学汽车与机械工程学院	31	232	6.0	14.0
2	陈婷	长沙理工大学汽车与机械工程学院	3	1	1.0	1.0
3	刘玉县	北京大学微电子研究院	3	1	1.0	1.0
4	何春华	北京大学微电子研究院	4	2	1.0	1.0