分子束外延制备金单原子台阶样品的工艺参数改进研究

• 作者: 周志峰 张小敏 毛勤卫
• 来源期刊: 计量技术
• 关键词: 分子束外延法 单原子台阶 工艺参数 改进研究
• 年，卷（期）: 2019,（8）
• 页码范围: 10-13
• 页数: 4页
• 字数: 1651字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2019.08.03

摘要

利用常规分子束外延开展单晶金原子台阶标准样品的制备,制备的样品通过扫描隧道显微镜(STM)测试发现,原子台阶数量较少且台阶高度均匀性较差.本课题针对分子束外延制备系统的基底与蒸发源距离、温度、时间、真空度等关键工艺参数进行了改进研究,并利用扫描隧道显微镜(STM)对改进参数后所生长金单原子台阶的质量和高度进行了分析测试,结果表明通过调节基底与蒸发源距离、温度、时间和真空度等工艺过程参数能够实现云母基底金原子的可控生长,为单原子台阶标准物质的制备提供了实践经验.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	毛勤卫		12	9	2.0	2.0
2	周志峰		8	7	2.0	2.0
3	张小敏		2	0	0.0	0.0