Ku频段Si基异质集成MEMS表面贴装型环行器

• 作者: 李倩 杨拥军 汪蔚 翟晓飞
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 表面贴装 环行器 三维异质集成 小型化
• 年，卷（期）: 2019,（8）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 631-635
• 页数: 5页
• 分类号: TN63|TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2019.08.006

摘要

随着现代电子技术的发展,通信收发系统趋向小型化,对射频前端的环行器提出了小型化的迫切需求,微电子机械系统(MEMS)环行器与传统环行器相比具有尺寸小、精度高、功率高的优势.创新性地提出了一款基于MEMS工艺的可表面贴装使用的环行器,最终尺寸为6 mm×6 mm×2.6mm,工作频率为14～18 GHz,器件损耗小于0.65 dB,隔离度大于18 dB,电压驻波比小于1.4,满足用户需求;与传统微带环行器相比,其具有精度高、一致性好、可批量化生产等特点,同时通过金属化通孔实现微波信号垂直传输,避免出现金丝/金带键合使用时的匹配复杂等难题,在通信和雷达收发组件领域有着广泛应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李倩	中国电子科技集团公司第十三研究所	10	37	3.0	6.0
2	杨拥军	中国电子科技集团公司第十三研究所	44	220	7.0	13.0
3	汪蔚	中国电子科技集团公司第十三研究所	4	6	1.0	2.0
4	翟晓飞	中国电子科技集团公司第十三研究所	1	0	0.0	0.0