300MHz氮化铝轮廓模式谐振器的设计

• 作者: 袁靖 许夏茜 高杨
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 轮廓模式谐振器 氮化铝 谐振频率 动态电阻 质量因子 机电耦合系数
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 页码范围: 775-778
• 页数: 4页
• 分类号: TN713+.2
• 字数: 1936字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2019.06.003

摘要

氮化铝轮廓模式谐振器(CMR)能够满足现代无线通信对单片、多频段、可重构的多频率源的需求,具有很大的应用前景.针对目前无具体单个CMR频点的设计方法,提出了一种结合CMR性能参数的影响因素分析和有限元计算的CMR设计方法.该文对CMR的谐振频率、质量因子、机电耦合系数和动态电阻等谐振器主要性能参数的影响因素进行理论分析得到CMR结构的初始尺寸,再利用COMSOL有限元软件建立CMR几何模型并进行频域求解得到相应的频率-导纳曲线和频率-质量因子曲线;根据仿真结果和理论计算对CMR初始结构尺寸进行优化,并仿真设计了一个氮化铝CMR,其谐振频率为300 MHz,质量因子约为1 010,机电耦合系数约为1.64％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高杨	西南科技大学信息工程学院	9	0	0.0	0.0
2	许夏茜	西南科技大学信息工程学院	8	5	2.0	2.0
3	袁靖	西南科技大学信息工程学院	6	0	0.0	0.0