真空镀膜设备的简易快捷酒精检漏的有效性研究

• 作者: 何涛 刘海波 孔营 岳玲 巩春志 张鑫 田修波 靳朋礼 马玉山
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空 检漏 酒精 氦质谱检漏仪
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 页码范围: 69-73
• 页数: 5页
• 分类号: TB774
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2019.05.14

摘要

由于缺乏统一规范,如何用酒精高效快速的确定漏点一直是真空镀膜企业重点关注的问题.本文通过对真空镀膜设备的喷酒精检漏的有效性开展研究,并用氦质谱检漏进行验证与标定,系统研究了气压工作范围、抽气速率、漏点结构形式三个主要影响因素.得出如下结论:真空室气压低于5.0×10-3 Pa时喷酒精不能够检出漏点,气压在5.0×10-3Pa～9.9×10-3Pa范围酒精检漏的气压变化趋势为先下降后上升再下降,在气压1.0×10-2Pa～9.9×10-2Pa范围里喷完酒精后,真空室内的气压变化趋势是先略微下降后上升再下降,在1.0×10-1Pa～9.9×10-1Pa气压范围,由于漏点尺寸大,喷酒精后,气压无下降,直接先上升后下降;相比两个分子泵,一个分子泵工作检漏时,漏点检出时间长且易漏检,所以在实际泵速较小或真空室较大的真空系统检漏时要特别注意,防止漏检.简单结构漏点喷酒精检漏用时短易检出,而结构复杂的漏点气压反应所用时间长易漏检.以上研究结果为真空生产和应用单位采用酒精高效简易检漏提供了有效指导.