热阴极电离真空计电参数校准装置电流源设计与仿真分析

• 作者: 卢耀文 宋瑞海 延峰 柏向春 董云宁 邵壮 魏萌萌
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电离真空计 校准装置 电参数 PSPICE仿真
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 297-303
• 页数: 7页
• 分类号: TB77
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2019.04.05

摘要

针对热阴极电离真空计电参数校准装置中电流源设计的关键技术,本文提出一种用于真空计电参数校准的内置单运放电流源及其非理想化低频等效模型,并通过PSPICE仿真对电路性能进行分析.装置适用于100MΩ~100GΩ负载条件,负载为1GΩ时输出电流相对变化率为0.3×10-6.解决了当前热阴极电离真空计电参数校准装置电流源不适用于低位离子流采样的超高电离真空计的问题,达到校准不同型号热阴极电离真空计离子流放大器的效果,为电参数校准装置的研制提供理论依据及参考.