MEMS谐振陀螺实时自动模态匹配控制技术

• 作者: 何春华 刘玉县 吴康雄 汤丽 陈婷
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械谐振陀螺 模态匹配 温度 调谐电压
• 年，卷（期）: 2019,（7）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 35-38
• 页数: 4页
• 分类号: TN98|TP212
• 字数: 2918字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2019)07-0035-04

摘要

为了消除温度对陀螺模态匹配的影响,提出了一种实现微机械谐振陀螺在温度-30～60℃内实时自动模态匹配控制方法.驱动模态和检测模态的谐振频率跟温度成线性关系,两轴的谐振频差与温度也成线性关系,该方法以驱动模态谐振频率作为温度参考而获得两模态谐振频差,根据谐振频差实时调节静电调谐电压,使得检测模态谐振频率与驱动模态谐振频率匹配.实验结果表明:检测谐振频率和驱动谐振频率在温度-30～60℃范围内,匹配误差不超过0.3 Hz,验证了该方法的可行性、匹配精度,同时证明本文所采用的开环控制方案的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴康雄		31	232	6.0	14.0
2	刘玉县	北京大学微纳加工国家重点实验室	10	4	1.0	1.0
4	汤丽		3	1	1.0	1.0
5	陈婷		3	1	1.0	1.0
8	何春华	北京大学微纳加工国家重点实验室	4	2	1.0	1.0