流导可控的AAO分子流漏孔的制作与动态测试

• 作者: 于振华 姜彪 孙立臣 李明利 王旭迪 王永健 甘婧
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 分子流 流导 校准装置 漏孔 阳极多孔氧化铝
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 288-292
• 页数: 5页
• 分类号: TB754
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2019.04.03

摘要

随着分子流漏孔的广泛应用,迫切需要一种制作简单、成本低廉且流导可控的分子流漏孔制作方法.本文基于阳极多孔氧化铝(AAO)模板,利用打孔硅片作为掩膜和支撑材料,制作出不同有效面积的AAO新型分子流漏孔,然后使用自主设计的动态差压法漏孔测量设备,以氮气、氦气和氩气作为测试气体对所制作的直径分别为2和13mm圆形AAO分子流漏孔流导进行了测量.实验结果表明,漏孔的流导测量值接近理论计算值,流经AAO漏孔的气体始终保持分子流状态,即流导维持不变.AAO分子流漏孔具有制备工艺简单、成本低、流导可控且可预测不同种类气体流导等优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于振华	合肥工业大学机械工程学院	23	144	7.0	11.0
2	王旭迪	合肥工业大学机械工程学院	40	192	9.0	12.0
3	孙立臣		68	159	6.0	9.0
4	王永健	合肥工业大学机械工程学院	4	1	1.0	1.0
5	姜彪	合肥工业大学机械工程学院	3	1	1.0	1.0
6	甘婧	合肥工业大学机械工程学院	3	1	1.0	1.0
7	李明利		9	3	1.0	1.0