Co56Ta35B9非晶合金薄膜纳米压痕蠕变行为研究

• 作者: 李培友 王刚 马昕迪
• 来源期刊: 上海金属
• 关键词: 非晶合金薄膜 衬底温度 蠕变 应变速率敏感指数 剪切转变体积
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 所属期刊栏目: 金属材料及其应用
• 页码范围: 39-43
• 页数: 5页
• 字数: 2672字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-7208.2019.06.008

摘要

在不同衬底温度(298、373和473 K)下,采用磁控溅射法在玻璃衬底上成功制备了Co56Ta35B9非晶合金薄膜.利用纳米压痕技术研究了非晶合金薄膜的蠕变行为.结果 表明:薄膜的模量和硬度随衬底温度的升高而升高.随着衬底温度的升高,薄膜在蠕变过程中的应变速率敏感指数降低,蠕变抗力增大,剪切转变区体积缩小,塑性降低.采用纳米压痕保载阶段的数据拟合延迟谱,发现衬底温度越高,对应的延迟谱的峰强越低,说明原子排列均匀,从而解释了其模量和硬度提高的原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王刚	上海大学材料科学与工程学院	28	76	5.0	8.0
2	李培友	陕西理工大学材料科学与工程学院	21	22	3.0	3.0
3	马昕迪	上海大学材料科学与工程学院	3	0	0.0	0.0