淬火技术对酸洗法提纯多晶硅的催化作用

• 作者: 刘振东 戴玉强 朱登雷 牛兴平
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 提纯 淬火 酸洗法 催化作用
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 页码范围: 96-102
• 页数: 7页
• 分类号: TF031
• 语种: 中文

摘要

采用淬火技术和酸洗络合技术提纯多晶硅.采用ICP测试多晶硅纯度,采用XRD、红外光谱、拉曼光谱、扫描显微镜、扫描电镜和能谱技术分析淬火对多晶硅提纯的催化机理,结果表明:1)淬火能减弱多晶硅杂质元素与硅之间的键能和键力,使多晶硅晶体出现缺陷和缩小硅体晶面间距;2)多晶硅杂质相主要由非晶金属氧化物或金属硅化物构成;3)采用酸洗络合技术和二次凝固技术可使多晶硅中B的移除率达到90％,同时其他金属杂质的移除率均在55％以上,提纯硅的纯度基本满足太阳电池的需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	牛兴平		9	16	2.0	4.0
2	刘振东		21	81	5.0	8.0
3	戴玉强		5	5	1.0	1.0
4	朱登雷		7	1	1.0	1.0