基于模糊逻辑的晶圆制造整体式AMHS动态调度方法

• 作者: 吴立辉 宋昊举 张金星
• 来源期刊: 组合机床与自动化加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 晶圆制造 整体式 自动化物料搬运系统 模糊逻辑 调度
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 先进管理技术
• 页码范围: 152-155
• 页数: 4页
• 分类号: TH166|TG506
• 字数: 2910字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13462/j.cnki.mmtamt.2019.05.037

摘要

为提高晶圆制造整体式自动化物料搬运系统和晶圆加工系统的综合性能,提出了一种基于模糊逻辑控制的动态调度方法.该方法实时采集系统中的晶圆卡交货期、晶圆卡等待时间和AMHS搬运负载情况等信息,通过模糊逻辑控制模型动态调整系统当前调度规则,从而实现OHT实时高效搬运晶圆.仿真实验表明:基于模糊逻辑控制的动态调度方法在OHT平均利用率、晶圆平均搬运时间、晶圆平均等待时间和晶圆平均交货期满意度等性能指标方面优于传统单一规则,验证了该方法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴立辉	河南工业大学机电工程学院	39	133	6.0	9.0
2	宋昊举	河南工业大学机电工程学院	4	0	0.0	0.0
3	张金星	河南工业大学机电工程学院	1	0	0.0	0.0