基于微结构PDMS介质层的电容式柔性阵列压力传感器

• 作者: 侯鹏飞 刘继军 李晓红 王瑞荣 陈瞳
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 压力传感器 电容式传感器 微结构聚二甲基硅氧烷(PDMS) 阵列 灵敏度
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 389-393,418
• 页数: 6页
• 分类号: TP212|TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2019.05.009

摘要

提出了一种微结构聚二甲基硅氧烷(PDMS)为介质层的柔性阵列压力传感器,采用微电子机械系统(MEMS)工艺实现了传感器电极的制备,采用三明治的结构实现了柔性阵列压力传感器的制备.利用压力机和LCR电桥对不同厚度的微结构PDMS作为介质层的传感器性能进行了测试.测试结果表明,采用微结构PDMS为介质层明显提高了传感器的灵敏度,当介质层厚度为0.5 mm时,0～5 kPa和5～20 kPa下传感器的灵敏度分别为0.18 kPa-1和0.02 kPa-1,同时传感器具有良好的重复性(＞1000次)、快速的响应时间(＜200 ms)和低的检测极限(约为5.5 Pa).该传感器能够准确、灵活地监测外部压力的变化和分布,适用于未来智能机器人中电子皮肤的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李晓红	太原工业学院电子工程系	28	133	6.0	10.0
2	王瑞荣	太原工业学院电子工程系	16	21	3.0	3.0
3	刘继军	太原工业学院电子工程系	13	52	4.0	7.0
4	陈瞳	太原工业学院电子工程系	12	18	3.0	4.0
5	侯鹏飞		7	6	2.0	2.0