锑化铟红外焦平面器件钝化前脱水工艺研究

• 作者: 亢喆 曹海娜 肖钰 邱国臣
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 锑化铟 预处理 脱水 干燥 焦平面红外探测器
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 563-568
• 页数: 6页
• 分类号: TN215
• 字数: 4489字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2019.03.005

摘要

设计了一种专门用于锑化铟红外探测器器件工艺中钝化前的脱水处理工艺技术.包含脱水、干燥和表面处理等一系列的工艺步骤,可作为基于锑化铟材料的焦平面红外探测器器件中钝化前的标准化处理工艺.针对脱水工艺设计中遇到的问题对操作方式进行了重新设计和改进,避免了工艺引入杂质和离子对器件性能造成影响.改进后的工艺在脱水处理后采用高温烘干与吹扫相结合的方式对芯片进行干燥,并加入预处理工艺对脱水后钝化前的芯片进行表面处理,从而使锑化铟材料红外器件工艺适应各种环境湿度的工艺条件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	亢喆	中国电子科技集团公司第十一研究所	3	1	1.0	1.0
2	曹海娜	中国电子科技集团公司第十一研究所	1	1	1.0	1.0
3	邱国臣	中国电子科技集团公司第十一研究所	1	1	1.0	1.0
4	肖钰	中国电子科技集团公司第十一研究所	1	1	1.0	1.0