激光晶体生长炉高精度晶体称重装置设计

• 作者: 左海涛 张睿平 李建鸿 纪文刚
• 来源期刊: 化工机械
• 学科: 工学
• 关键词: 高精度称重装置 激光晶体生长炉 机械结构 有限元分析 控制系统
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 设计计算
• 页码范围: 187-191
• 页数: 5页
• 分类号: TQ056.1+9
• 字数: 2638字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-6094.2019.02.017

摘要

针对激光晶体生长过程中晶体重量增长缓慢、现有称重装置精确度不高的问题,设计了一种用于激光晶体生长炉的高精度晶体称重装置.实测结果表明,该称重装置结构简单合理,机械结构的强度和刚度满足要求,与激光晶体生长炉适配性高,稳定性好,大幅提高了晶体称量精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	纪文刚	北京石油化工学院自动化系	55	213	8.0	12.0
3	左海涛	北京石油化工学院自动化系	5	7	2.0	2.0
6	李建鸿	北京化工大学信息科学与技术学院	5	2	1.0	1.0
7	张睿平	北京化工大学信息科学与技术学院	6	9	2.0	3.0