基于金属介质交替膜超材料窄带滤色片的性能优化

• 作者: 崔艳霞 张叶 李国辉 王启航 王文艳 郝玉英
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 超材料 滤色片 窄带 中心波长可调 金属-介质交替膜 透射
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 材料与结构
• 页码范围: 351-357
• 页数: 7页
• 分类号: TN27|O438
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2019.05.003

摘要

超材料窄带滤色片由于结构紧凑、体积小、制备工艺简单和成本较低等优点,其常被用于光电探测和成像系统等领域.利用银和二氧化硅交替膜制备的周期性超材料狭缝阵列,实现了在可见光范围中心波长可调的窄带过滤颜色性能.研究了狭缝宽度、狭缝周期、金属银膜厚度与介质层厚度之间的比值和超材料厚度对该滤色片透射性能的调控规律,得到了具有较高透射效率且中心波长可调的窄带滤色片.最终实现半峰全宽17～30 nm、透射率约50％、在可见光500～760 nm波段实现中心波长可调且色纯度较好的滤色片.该结果为新型窄带滤色片的设计提供了崭新的思路.