传统SAW离子束调频技术研究

• 作者: 伍平 刘晓莉 米佳 董姝 董家和 赵雪梅 陈峻 黎亮
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 离子束 刻蚀速率 目标频率
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 页码范围: 874-876
• 页数: 3页
• 分类号: TN65
• 字数: 2300字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2019.06.025

摘要

制作传统声表面波(SAW)器件晶圆芯片表面的材料是Al,Al在空气中被氧化,极易生成致密的氧化铝(Al2O3)薄膜,由于Al2O3薄膜和Al及基底压电材料的刻蚀速率存在差异,会导致SAW的离子束调频过程复杂.该文介绍了一种用于SAW的离子束调频方法,采用该方法对制作的SAW器件进行离子束调频后,实现了目标频率的调高和调低,并进一步提高了频率集中度,从而解决了低频窄带SAW器件及2 GHz以上SAW高频器件频率精度难以提高的工艺难题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈峻	中国电子科技集团公司第二十六研究所	6	20	3.0	4.0
2	赵雪梅	中国电子科技集团公司第二十六研究所	8	7	1.0	2.0
3	米佳	中国电子科技集团公司第二十六研究所	10	14	3.0	3.0
4	伍平	中国电子科技集团公司第二十六研究所	7	3	1.0	1.0
5	刘晓莉	中国电子科技集团公司第二十六研究所	10	26	3.0	4.0
6	董姝	中国电子科技集团公司第二十六研究所	7	17	2.0	4.0
7	董家和	中国电子科技集团公司第二十六研究所	1	0	0.0	0.0