液相等离子喷涂制备Au-WO3复合涂层及其气敏机理

• 作者: 姚阳光 袁建辉 谭礼明 赵文杰 陈晓晓 顾青山
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 肖特基结 液相等离子体喷涂 WO3 掺杂 涂层 气敏机理
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 专题——热喷涂技术及工程应用
• 页码范围: 84-90
• 页数: 7页
• 分类号: TG174.4
• 字数: 3586字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2019.04.012

摘要

目的 提高WO3基涂层的气敏性能.方法 以WCl6为前驱体原料,加入一定量的纳米Au颗粒制成稳定的喷涂浆料,采用液相等离子体喷涂技术制备出Au掺杂的WO3基复合涂层.通过扫描电子显微镜(SEM)及其附带的能谱仪、X射线衍射仪(XRD)等对Au-WO3复合涂层的微观结构进行表征.通过自主搭建的气敏性能测试系统对所制备Au-WO3复合涂层的气敏性能进行测试,并探讨了涂层的气敏机理.结果 前驱体液滴在等离子体热源作用下发生溶剂蒸发、WO3形核、结晶和长大等一系列反应,随后形成的WO3固体粒子发生熔化或半熔化,并加速撞击到基体表面形成涂层.在同等条件下,喷涂距离对WO3气敏涂层的结晶度和形貌有很大影响,适宜的喷涂距离(170 mm)下获得的涂层结晶完整且晶粒细小(20～50 nm),有利于涂层气敏性能的发挥.Au-WO3复合涂层的气敏性能均显著优于纯WO3涂层.结论 复合涂层气敏性能的改善归因于涂层中Au和WO3界面处所形成的肖特基结使复合涂层的导电性降低,接触势垒高度增加,初始电阻值变大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵文杰	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	11	155	7.0	11.0
2	袁建辉		7	3	1.0	1.0
3	谭礼明		4	3	1.0	1.0
4	陈晓晓		3	3	1.0	1.0
5	姚阳光		2	0	0.0	0.0
6	顾青山		2	0	0.0	0.0