聚苯乙烯微球辅助制备超薄PERC太阳电池

• 作者: 任学明 唐群涛 沈鸿烈 王明明 陈春明 顾浩
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 太阳电池 聚苯乙烯(PS)微球 超薄 钝化发射极和背面电池(PERC) 翘曲 柔韧性
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 器件与技术
• 页码范围: 341-345,363
• 页数: 6页
• 分类号: TM914.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2019.05.001

摘要

利用旋涂法将自制的聚苯乙烯(PS)微球涂覆到不同厚度的单晶硅片上,作为钝化发射极和背面电池(PERC)的背接触开口的掩模,然后用快速热退火工艺使PS微球挥发形成PERC电池的背接触开口,最后用磁控溅射在PERC电池背面生长一层Ag电极.利用该方法制备了面积为40 mm×40 mm、厚度分别为40、55和70 μm的三种超薄单晶PERC太阳电池.制备的超薄太阳电池未出现任何翘曲.超薄太阳电池的电流密度-开路电压(Jsc-Voc)曲线和外量子效率(EQE)曲线测试结果表明,随着电池厚度的减小,电池的转换效率随之下降.其中,40μm厚的电池转换效率最高达13.6％,平均转换效率为13.3％,并展现出良好的柔韧性,极限弯曲角度达到135°.