纳米Al2O3电泳沉积成膜的影响因素研究

• 作者: 杨胡坤 王建萍 魏磊
• 来源期刊: 材料保护
• 学科: 工学
• 关键词: 电泳沉积 仿真模型 电场 流场
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 18-23,63
• 页数: 7页
• 分类号: TG174.4
• 语种: 中文

摘要

为研究电泳沉积薄膜沉积量分布特征及影响因素,对纳米Al2O3材料进行电泳沉积薄膜试验和仿真研究.试验过程中,对纳米Al2O3薄膜沉积的微观形貌、成分及沉积量与电压、沉积时间关系进行了研究;在仿真研究过程中,利用电场、流场、沉积场多场耦合技术研究分析了电场分布、流场特性、沉积时间等对电泳沉积纳米Al2O3薄膜的影响.结果 表明:电场在阴极正、反两侧强弱分布使得正面沉积量明显大于反面,同时流场的涡流分布特征加速了粒子在阴极边缘沉积.仿真结果与试验结果吻合度较好,验证了仿真模型的有效性,为进一步研究电泳沉积流体流动特性和沉积过程提供了一种新的研究方法和手段.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨胡坤	巢湖学院机械工程学院功能材料制备与应用重点实验室	19	33	4.0	5.0
5	王建萍	巢湖学院机械工程学院功能材料制备与应用重点实验室	2	0	0.0	0.0
6	魏磊		1	0	0.0	0.0