硫化物靶与单质靶制备Cu2ZnSnS4薄膜的比较研究

• 作者: 徐信 李耀斌 杨帅 杨洪斌 王书荣 马逊
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 铜锌锡硫薄膜 太阳电池 二元硫化物靶 金属单质靶
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 529-534
• 页数: 6页
• 分类号: TN304
• 字数: 4650字
• 语种: 中文
• DOI: 10.15541/jim20180304

摘要

为了验证磁控溅射硫化物靶替代单质靶制备Cu2ZnSnS4(CZTS)薄膜及太阳电池的可行性与优越性,采用多周期磁控溅射ZnS-Sn-CuS和Zn-Sn-Cu制备CZTS薄膜,并分析了使用不同溅射靶材对薄膜晶体结构、相纯度、表面粗糙度、化学组分、表面、截面形貌及光电特性的影响.按SLG/Mo/CZTS/CdS/i-ZnO/ZnO:Al/Ni-Al结构制成完整的电池器件并测量了J-V曲线.结果显示采用ZnS-Sn-CuS靶制备的CZTS薄膜太阳电池开路电压为611 mV,短路电流密度为21.28 mA/cm2,光电转换效率达5.11％;而以单质靶为基础制备的太阳电池开路电压为594 mV,短路电流密度为18.56 mA/cm2,光电转换效率为4.13％.这归因于采用ZnS-Sn-CuS制备的CZTS薄膜相比于单质靶更加平整致密,纵向生长更好.证明了采用硫化物靶制备CZTS薄膜及太阳电池相较于单质靶的优越性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马逊	云南师范大学云南省农村能源工程重点实验室	18	58	3.0	7.0
2	杨帅	云南师范大学云南省农村能源工程重点实验室	4	14	1.0	3.0
3	王书荣	云南师范大学云南省农村能源工程重点实验室	9	39	3.0	6.0
7	徐信	云南师范大学云南省农村能源工程重点实验室	3	3	1.0	1.0
8	李耀斌	云南师范大学云南省农村能源工程重点实验室	1	0	0.0	0.0
9	杨洪斌	云南师范大学云南省农村能源工程重点实验室	1	0	0.0	0.0