基于MEMS的矩形微同轴技术研究现状

• 作者: 史光华 周彪 常青松 张延青 徐达 王建 王真 白锐
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 矩形微同轴技术 EFABTM PolyStrataTM 体硅刻蚀
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 303-313
• 页数: 11页
• 分类号: TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2019.04.009

摘要

矩形微同轴技术已成为射频微电子机械系统(RF MEMS)的一个重要发展方向.矩形微同轴的电性能相比于传统的传输结构(如微带、共面波导等)在毫米波宽带领域具有巨大优势.从结构、性能等方面对矩形微同轴进行了简要分析.回顾了矩形微同轴技术在其发展的不同阶段出现的体硅刻蚀技术、EFABTM和PolyStrataTM技术,并对矩形微同轴的结构、加工工艺及射频性能等方面进行了简要分析.介绍了矩形微同轴技术在不同RF MEMS中的应用,并对获得的特性进行了讨论.矩形微同轴技术应用于高度集成的RF MEMS是发展的必然趋势,必将对传统射频电路的设计、制备及系统集成产生巨大影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王真	中国电子科技集团公司第十三研究所	16	43	4.0	5.0
2	王建	中国电子科技集团公司第十三研究所	14	13	2.0	3.0
3	史光华	中国电子科技集团公司第十三研究所	4	0	0.0	0.0
4	徐达	中国电子科技集团公司第十三研究所	11	9	2.0	2.0
5	周彪	中国电子科技集团公司第十三研究所	7	2	1.0	1.0
6	常青松	中国电子科技集团公司第十三研究所	12	15	2.0	3.0
7	张延青	中国电子科技集团公司第十三研究所	2	0	0.0	0.0