基于ZnO/AlN/金刚石温补结构的研究

• 作者: 刘传浩 文武
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 频率温度系数(TCF) 机电耦合系数(k2) COMSOL Love波
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 页码范围: 802-805
• 页数: 4页
• 分类号: TN65
• 字数: 3047字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2019.06.010

摘要

使用COMSOL软件对ZnO/AlN/金刚石温度补偿结构进行建模分析,计算了该结构Love波模式0和模式1的频率温度系数(TCF)、声速(v)和机电耦合系数(k2),且讨论了ZnO薄膜厚度hZnO和AlN薄膜厚度hAlN对这些参数的影响.结果 表明,当hZnO=1 μm,hAlN=1.88 μm时,温度补偿结构Love波模式1的TCF=0,v=9 208 m/s,k2=3.84％,说明这种温度补偿结构能应用在高频和温度补偿声表面波器件中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	文武	重庆邮电大学通信与信息工程学院	32	146	7.0	10.0
10	刘传浩	重庆邮电大学通信与信息工程学院	1	0	0.0	0.0