利用等离子反应器从SiF4与CH4制备HF 和SiC的探索研究

• 作者: 李玉叶 田强 黄忠
• 来源期刊: 云南化工
• 学科: 化学
• 关键词: 等离子体反应器 四氟化硅 甲烷 固定床 碳化硅
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 18-20
• 页数: 3页
• 分类号: O646.9
• 字数: 3402字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-275X.2019.05.007

摘要

研究了一个新型反应,即SiF4气体与CH4气体反应生成无水HF气体和SiC固体.该反应在最大能量为20 eV的等离子反应器的固定床中进行,反应一段时间后,收集反应器壁上固体,通过分析固体中的碳含量来判断四氟化硅和甲烷的反应情况.结果表明:四氟化硅和甲烷可以发生反应,但是速度十分缓慢.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李玉叶	云南云天化股份有限公司研发中心	3	1	1.0	1.0
3	田强	云南云天化股份有限公司研发中心	3	1	1.0	1.0
5	黄忠		3	1	1.0	1.0