基于CuO/CNT气敏膜的无线丙酮气体传感器

• 作者: 周天浩 谭秋林 郭倩倩 郭涛
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 气体传感器 碳纳米管(CNT) 丝网印刷 氧化铜 无线无源
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 285-289
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2019.04.006

摘要

将碳纳米管(CNT)粉末以及氧化铜(CuO)粉末掺杂作为传感器的气敏材料,并通过旋涂的方式涂覆于敏感线圈.设计并简化了传感器的结构,通过丝网印刷工艺在基底上制备线圈.利用线圈的寄生电容与线圈电感形成LCR回路,分析了传感器LC无线耦合的原理以及混合气敏膜吸附丙酮气体的原理,将性质稳定的Al2O3陶瓷作为传感器的基底.在常温下对丙酮气体的体积分数进行检测,谐振频率的改变反映丙酮气体体积分数的变化.结果 表明,所制得的传感器具有良好的响应和线性度及优良的稳定性,传感器的最低检测极限为5×10-5.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭涛	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	86	454	11.0	15.0
5	谭秋林	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	71	327	10.0	15.0
9	周天浩	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	4	2	1.0	1.0
13	郭倩倩	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	1	0	0.0	0.0