W掺杂对CrAlN薄膜微观结构及力学性能的影响

• 作者: 王宇星 邓玉娟
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 CrAlWN薄膜 微观结构 力学性能 摩擦磨损性能
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 设计与工艺
• 页码范围: 97-100
• 页数: 4页
• 分类号: TG174|TH162
• 字数: 2170字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2019.03.023

摘要

通过改变W靶电流,采用磁控溅射技术在M2工具钢表面制备不同W含量的CrAlWN薄膜,利用SEM、EDS、XRD、纳米压痕仪和摩擦磨损试验仪研究了不同W含量的CrAlWN梯度薄膜的微观结构、膜/基结合力、力学性能和摩擦磨损性能.结果表明:CrAlN和CrAlWN薄膜的表面呈颗粒状,W的掺杂未改变CrAlN薄膜原有的晶体结构;随着W的掺杂和含量提高,CrAlN薄膜的力学性能和摩擦性能均有显著提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王宇星		15	10	2.0	2.0
5	邓玉娟		4	1	1.0	1.0