高反射镜表面疵病激光散射显微成像检测

• 作者: 刘卫国 杨飞 秦文罡 高爱华
• 来源期刊: 电子测量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光散射 显微成像 图像配准 拼接处理
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 信息技术及图像处理
• 页码范围: 110-116
• 页数: 7页
• 分类号: TN911.73
• 语种: 中文
• DOI: 10.19651/j.cnki.emt.1802052

摘要

反射镜表面疵病散射直接影响光学测试系统的性能、精度等多项重要指标.反射镜表面疵病的散射量可借助激光散射显微镜进行检测,为了保证整个系统的检测效率及精度要求,在硬件系统的设计上,设计显微物镜镜头、计算光斑的大小及CCD的功率谱响应;在软件系统的设计上,利用软件编写激光散射显微成像测试系统软件,能利用步进电机对反射镜表面进行扫描,同时控制图像采集卡采集图像并保存,重点研究如何快速有效地对采集到的子孔径图像进行精确配准,为后续图像的拼接处理奠定基础.通过分析整个测试系统的精度,×20倍率下能够分辨5～10μm疵病.