化学机械干式研磨的转化率建模及优化试验

• 作者: 吕冰海 张韬杰 杭伟 王洁 袁巨龙 黄晟
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 研磨 固相反应 转化率 磨具
• 年，卷（期）: 2019,（18）
• 所属期刊栏目: 机械基础工程
• 页码范围: 2185-2190,2197
• 页数: 7页
• 分类号: TH161.1|TB14|TG580
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2019.018.007

摘要

化学机械干式研磨的最大去除率产生于化学固相反应与机械作用达到平衡时.建立了固相反应转化率的数学模型,以全面分析其影响因素.从影响因素中选择4个主要参数,展开固结SiO2磨料磨具研磨蓝宝石的试验研究.试验结果表明,按影响显著程度由高到低排列的4个参数分别为磨具转速、载荷、磨料粒径、磨料与结合剂的质量百分比,所研究范围内的化学机械作用最优参数组合是:粒径45 μm,百分比30％,载荷0.6 MPa,转速150 r/min.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁巨龙	浙江工业大学超精密加工研究中心	116	1467	19.0	35.0
2	杭伟	浙江工业大学超精密加工研究中心	12	8	2.0	2.0
3	吕冰海	浙江工业大学超精密加工研究中心	51	710	11.0	26.0
4	王洁	浙江工业大学超精密加工研究中心	18	30	3.0	4.0
8	张韬杰	浙江工业大学超精密加工研究中心	4	1	1.0	1.0
9	黄晟	浙江工业大学超精密加工研究中心	3	0	0.0	0.0