基于蒙特卡洛法溅射离子泵泵腔结构研究

• 作者: 周雪茜 崔寓淏 王凯 窦仁超 马永强
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 溅射离子泵 蒙特卡洛方法 分子流
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 107-110
• 页数: 4页
• 分类号: TB752
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2019.02.03

摘要

采用蒙特卡洛方法对溅射离子泵腔抽气通道内的气体流动规律进行数值模拟.建立了不同溅射离子泵结构的几何模型,计算了气体分子在不同泵腔结构中进出比例,分析了腔结构对反流量的影响,得到了抽气组件在不同泵腔结构中的抽气效率,探讨各种类型腔结构的抽气特点;最后计算了舱体高度对抽气性能的影响.结果表明:在相同条件下,Ⅰ型泵腔结构抽气性能最好,T型泵腔结构次之,双侧型泵腔结构抽气性能最差.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	窦仁超		21	45	3.0	6.0
2	崔寓淏		8	2	1.0	1.0
3	王凯		18	16	3.0	3.0
4	周雪茜		7	8	2.0	2.0
5	马永强		2	1	1.0	1.0