HIPIMS技术制备CrN及CrAlN涂层的性能

• 作者: Heinz Rolf Stock 朱宇杰 王广欣 秦聪慧 马景灵
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 高功率脉冲磁控溅射技术 (HIPIMS) 共溅射 CrN CrAlN 膜基结合力 耐腐蚀性
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 材料表面改性
• 页码范围: 127-135
• 页数: 9页
• 分类号: TG174.44
• 字数: 3944字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13289/j.issn.1009-6264.2018-0480

摘要

用高能脉冲靶和双极脉冲靶共溅射的方式, 采用高功率脉冲磁控溅射技术 (HIPIMS) 在高速钢基片 (W18Cr4V) 上制备了CrN涂层和CrAlN涂层 ((H+B) CrN、 (H+B) CrAlN);同时采用第四代电弧离子镀技术 (ARC evaporators) 在高速钢基片上制备了CrN涂层和CrAlN涂层 (ARC CrN、ARC CrAlN) .采用划痕试验、X射线衍射、扫描电镜和电化学腐蚀测试等研究了涂层的形貌和性能.结果表明:共溅射制备的涂层膜基结合力更强, 临界载荷最高可达到72.2 N, 表面晶粒更细小, 缺陷少, 横截面组织致密;同时该方法制备的CrAlN ((H+B) CrAlN) 涂层的高温抗氧化性能最佳;共溅射制备的涂层的耐腐蚀性能比电弧离子镀制备的涂层更好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马景灵	河南科技大学材料与工程学院	52	297	11.0	15.0
5	王广欣	河南科技大学材料与工程学院	22	25	3.0	3.0
9	秦聪慧	河南科技大学材料与工程学院	3	1	1.0	1.0
13	朱宇杰	河南科技大学材料与工程学院	4	3	1.0	1.0
17	Heinz Rolf Stock	河南科技大学材料与工程学院	1	0	0.0	0.0