企业用小型超纯水制备系统的最适工艺选择探讨

• 作者: 何嘉慧 陈洪斌
• 来源期刊: 四川环境
• 学科: 地球科学
• 关键词: 半导体行业 超纯水系统 小水量水站
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 问题探讨
• 页码范围: 157-162
• 页数: 6页
• 分类号: X703
• 字数: 5428字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14034/j.cnki.schj.2019.02.029

摘要

半导体企业对生产用水的水质要求极高,该行业快速发展对超纯水系统的需求日趋旺盛.超纯水系统的投资成本和运行成本远高于其它水处理系统,且工艺运行的稳定性要求高,企业用户难以选择.为此,本文以某半导体企业的超纯水站为例,从工艺路线、投资和运行成本、运行管理和二次污染治理等方面探讨了针对基于18MΩ.cm水质要求的小水量超纯水制备系统的最适工艺系统.结果 表明:采用两级RO结合EDI制备超纯水在一次性投资费用、运行费用、自动控制与管理、二次污染排放等方面更有优势,将成为未来半导体行业小型超纯水站的主流工艺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈洪斌	同济大学环境科学与工程学院	113	1840	23.0	38.0
2	何嘉慧	同济大学环境科学与工程学院	1	1	1.0	1.0