两段PTSA法制备电子级液体CO2技术及工业化应用

• 作者: 刘昕 张杰 李传华 王文涛 王键 管宁 蒲裕 陈中明
• 来源期刊: 低碳化学与化工
• 关键词: PTSA工艺 电子级 液体二氧化碳 生产技术
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 开发应用
• 页码范围: 98-102
• 页数: 5页
• 分类号: TQ028.15|TQ116.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9219.2019.03.022

摘要

介绍了四川天一科技股份有限公司自主研发的两段PTSA法制备电子级液体CO2技术,该技术以富CO2的气体作为原料,提纯得到电子级液体CO2,产品符合半导体行业的质量要求.该技术已在工业化装置上成功运行,工程应用的结果表明其具有产品质量可靠、能耗低、投资少、运行费用低的优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张杰		11	39	4.0	6.0
2	刘昕		3	4	1.0	2.0
3	蒲裕		2	10	2.0	2.0
4	管宁		2	4	1.0	2.0
5	陈中明		7	99	3.0	7.0
6	王键		3	5	2.0	2.0
7	李传华		2	53	2.0	2.0
8	王文涛		1	3	1.0	1.0