高端激光干涉测量仪器

• 来源期刊: 光学精密机械
• 学科: 工学
• 关键词: 激光干涉测量 干涉仪 精密仪器 组件设计 出口限制 测量环境 光刻机 多自由度
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 页码范围: 38-38
• 页数: 1页
• 分类号: TH7

摘要

“针对光刻机等苛刻测量环境中实现多自由度干涉测量的需求,我们提出了基于棱镜误差矢量分析的单体集成多轴干涉仪组件设计方法,研发出从2轴到5轴的系列化单体式多轴干涉仪组件,打破了国外企业的垄断和对我国的出口限制。”清华大学长聘教授、精密仪器系学术委员会主任李岩。