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Kalman filtering-based supervisory run- to -run control method for semiconductor diffusion processes
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摘要：
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引风机RUN BACK控制策略优化及分析
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Evaporation process
Zinc isotope
Kinetic isotope fractionation
Equilibrium fractionation
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文献信息
| 篇名 | Kalman filtering-based supervisory run- to -run control method for semiconductor diffusion processes | ||
| 来源期刊 | 中国科学 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | Kalman semiconductor processes | ||
| 年，卷（期） | zgkx_2019,（8） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 194-196 | |
| 页数 | 3页 | 分类号 | TP |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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