基于石墨烯/PDMS介质层的柔性压力传感器

• 作者: 王瑞荣
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 柔性压力传感器 石墨烯/PDMS 电容式 MEMS 灵敏度
• 年，卷（期）: 2019,（8）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 72-75,81
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 1954字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2019.08.012

摘要

提出了一种以石墨烯/PDMS为介质层的柔性压力传感器,主要介绍了石墨烯/PDMS介质层和柔性压力传感器的制备方法,研究了石墨烯浓度和石墨烯/PDMS介质层厚度对传感器灵敏度的影响.利用压力机和阻抗分析仪对柔性压力传感器进行了测试,结果表明柔性压力传感器有大的工作范围(0～20 kPa)和高的灵敏度(在0～3 kPa的灵敏度为0.3 kPa-1,3～8 kPa的灵敏度为0.06 kPa-1,8～20 kPa的灵敏度为0.017 kPa-1);同时传感器的可恢复性和重复性能良好,可灵敏地检测手指的弯曲,在机器人皮肤和智能穿戴领域有着广阔的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王瑞荣	太原工业学院电子工程系	16	21	3.0	3.0