移动MES系统在半导体制造中的设计应用

• 作者: 劳立 沈瑾 章熙峰
• 来源期刊: 制造业自动化
• 学科: 工学
• 关键词: MES(制造执行系统) PDA(掌上电脑) 智能制造 半导体 5G WIFI
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 信息与管理
• 页码范围: 20-23
• 页数: 4页
• 分类号: TP391
• 字数: 3424字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-0134.2019.01.005

摘要

MES系统在半导体智能制造中已经开始广泛应用,在智能制造技术的背景下,依托5GWIFI网络平台,设计并实现了一种在PDA上可以操作的移动MES系统并投入某净化间实际使用,减少了人力成本,杜绝了手工输入的风险,取得了良好的效益.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈瑾		2	4	2.0	2.0
2	章熙峰		1	2	1.0	1.0
3	劳立		1	2	1.0	1.0