MEMS智能传感器技术的新进展

• 作者: 赵正平
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 智能传感 微电子机械系统(MEMS) 惯性传感 压力传感器 温度传感器 生化传感器
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 技术论坛
• 页码范围: 1-7
• 页数: 7页
• 分类号: TP212|TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2019.01.001

摘要

CMOS和MEMS结合所产生的MEMS智能传感器技术已成为智能传感器发展的主流,目前智能时代的开启已带动MEMS智能传感器技术进入快速发展阶段.综述了惯性、压力、温度和生化等典型的MEMS智能传感器,展现了MEMS智能传感器的应用需求、技术特点、传感器新材料和新结构、电子学新架构、设计拓扑、关键技术突破和测试结果.同时也对MEMS智能传感器的工艺和封装技术的最新进展进行了陈述.从设计、工艺和封装等方面分析了当前MEMS智能传感器总的发展趋势,并提取了主要技术创新亮点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵正平		46	197	7.0	12.0