光栅传感器正交信号自动实时补偿技术研究

• 作者: 夏豪杰 张瑞 赵雨露
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光栅尺 误差补偿 细分辨向 LabVIEW
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 测试与仪器
• 页码范围: 112-116
• 页数: 5页
• 分类号: TG741.6|TH741.6
• 字数: 3549字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2019.05.027

摘要

为提高光栅尺的测量精度和分辨率,对光栅位移传感器输出信号的自动实时处理方法进行研究.分析了光栅尺输出信号中存在的误差因素,根据Heydemann误差补偿模型修正信号中的非正交误差、直流误差和不等幅误差,利用CORDIC算法对修正后的信号进行细分.处理过程在LabVIEW环境下进行,利用FPGA模块实现信号实时处理,并与XL-80干涉仪比对验证该处理可有效补偿信号中的各类误差,且测量相对误差不超过±2μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏豪杰		22	111	7.0	10.0
2	张瑞		12	39	3.0	6.0
3	赵雨露		2	0	0.0	0.0