低压腔室内流速分布规律研究

• 作者: 吴宗跃 杜华娜 杨铁牛 赵蕾蕾 黄尊地
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 真空腔室 激光多普勒测速仪 流速 多因素 回归分析
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 197-205
• 页数: 9页
• 分类号: TB77
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2019.03.03

摘要

工艺腔室内气体流动状态对于目标产品的性能影响极为重要.为研究腔室压强、进气量、温度、间距等因素对腔室内气体流速的影响,利用激光多普勒测速仪对腔室进行内流速测量实验,从而研究流速的分布规律及各个变量对流速规律的影响,并在中轴线方向上建立多元线性回归模型.结果表明:当进气量、温度越大,流速越大.当压强、间距越大,流速越小.四个因素对中轴线上流速大小影响排序为:压强(p)＞进气量(Q)＞温度(T)＞间距(G).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄尊地	五邑大学轨道交通学院	23	37	3.0	4.0