晶圆FAB厂罗茨真空泵用永磁电机研发设计与实验

• 作者: 娄利岗 孔祥玲 安跃军 杨天宇 段永利 王光玉 邓文宇 齐丽君
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 罗茨真空泵 高速永磁电机 多极少槽 场路耦合 温度场
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 185-190
• 页数: 6页
• 分类号: TM351
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2019.03.01

摘要

为满足在晶圆FAB厂内使用罗茨真空泵的工程需求及性能要求,本文设计了一台1.5 kW小体积高速永磁同步电机并将其作为罗茨真空泵用驱动电机.采用多极少槽的极槽配合方案,减少变频器及供电装置中高次谐波对电机运行性能和损耗温升的影响.基于场路耦合思想及商业有限元软件,完成了电机拓扑结构及电磁设计,仿真结果验证了电磁设计及结构的合理性;通过三维温度场研究,表明该设计可应用于真空泵类工程之中.最后对样机进行了电机性能实验,实验数据与设计指标比较吻合,对罗茨真空泵进行性能测试实验,进一步验证了罗茨真空泵驱动用高速永磁电机设计的合理性,新研发电机满足泵的各项性能指标要求,研究工作具有工程实用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	安跃军	沈阳工业大学电气工程学院	42	205	8.0	13.0
2	孔祥玲	中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司干泵事业部	6	8	2.0	2.0
3	王光玉	中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司干泵事业部	12	107	5.0	10.0
4	杨天宇	沈阳工业大学电气工程学院	2	0	0.0	0.0
5	娄利岗	沈阳工业大学电气工程学院	1	0	0.0	0.0
6	邓文宇	中北通磁科技股份有限公司技术中心	1	0	0.0	0.0
7	段永利	中北通磁科技股份有限公司技术中心	1	0	0.0	0.0
8	齐丽君	中北通磁科技股份有限公司技术中心	1	0	0.0	0.0