大口径平面光学元件波前梯度数控抛光

• 作者: 胡庆 赵恒 高胥华 黄金勇
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学加工 光学元件 数控抛光 波前梯度均方根 匀滑面形拟合
• 年，卷（期）: 2019,（7）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1473-1480
• 页数: 8页
• 分类号: TG74
• 字数: 1701字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20192707.1473

摘要

针对改善光学元件的波前梯度均方根指标,在总结面形精度及面形分布对波前梯度指标影响规律的基础上,提出了基于匀滑面形拟合加工的方法,给出了该方法的基本思想和工作流程.首先,对原始面形数据进行扫描计算,标记波前突变数据.然后,采用NURBS拟合算法重构相邻面形突变点之间的数据,生成用于指导加工的面形数据.最后,根据待加工面形数据选择相应参数进行面形加工.采用多件610 mm×440 mm口径K9材料平面反射镜进行实验验证.实验结果表明,使用该方法进行数控加工,在2～3个加工周期内可使波前梯度均方根指标从11 nm/cm收敛至7.7 nm/cm以内,且面形几乎保持不变.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵恒		3	3	1.0	1.0
2	高胥华		3	14	2.0	3.0
3	黄金勇		3	4	1.0	2.0
4	胡庆		1	0	0.0	0.0