氧等离子体对以石墨为碳源合成的CVD金刚石颗粒的影响

• 作者: 代兵 刘康 姚凯丽 朱嘉琦 杨磊 舒国阳 谭小俊 韩杰才
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石颗粒 石墨 微波辅助化学气相沉积 氧等离子体
• 年，卷（期）: 2019,（9）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1621-1625
• 页数: 5页
• 分类号: TQ164
• 字数: 2043字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2019.09.007

摘要

采用一种新型的金刚石颗粒制备方法,利用微波辅助化学气相沉积技术,向反应室内通入氢气,以固态石墨片同时作为碳源和衬底沉积金刚石颗粒.利用该方法合成的金刚石颗粒具有微米级尺寸,可用作研磨剂、抛光剂、形核剂等.但是合成的金刚石颗粒中仍含有少量的非晶碳,且合成颗粒的尺寸均匀性有待提高.为解决以上问题,本文中在反应不同阶段(初期、中期及末期)通入氧气,形成氧等离子体;研究氧等离子体对合成的金刚石颗粒形貌、尺寸、质量、纯度的影响,以及随氧等离子体添加阶段不同而产生的不同变化情况.结果 表明,经氧等离子体处理的金刚石颗粒形貌略有改变,表面光滑度更好,且金刚石颗粒尺寸的一致性有所提高;经过激光粒度测试发现,金刚石颗粒的尺寸主要集中在25～ 29 μm.添加氧等离子体有助于消除金刚石中的非晶碳,提高金刚石纯度;且在反应初期添加氧等离子体可最大程度提高金刚石颗粒质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩杰才	哈尔滨工业大学航天学院	298	4663	35.0	52.0
2	朱嘉琦	哈尔滨工业大学航天学院	48	177	7.0	10.0
3	杨磊	哈尔滨工业大学航天学院	29	211	9.0	13.0
4	代兵	哈尔滨工业大学航天学院	6	2	1.0	1.0
5	舒国阳	哈尔滨工业大学航天学院	3	0	0.0	0.0
6	刘康	哈尔滨工业大学航天学院	6	11	2.0	3.0
7	姚凯丽	哈尔滨工业大学航天学院	2	0	0.0	0.0
8	谭小俊	哈尔滨工业大学航天学院	2	0	0.0	0.0